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  • 智能型HMDS系統(tǒng)真空泵,HMDS涂膠機(jī)干泵
    智能型HMDS系統(tǒng)真空泵,HMDS涂膠機(jī)干泵密封設(shè)計(電機(jī)和所有軸承與真空環(huán)路*隔開)延長了軸承的使用壽命, 還可提供潔凈、無油的真空條件。可選的集成入口保護(hù)閥內(nèi)置于泵模塊中, 可根據(jù)需要使用,不會額外增加泵的高度。
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  • 智能型HMDS涂膠機(jī),自動HMDS涂膠鍍膜機(jī)
    智能型HMDS涂膠機(jī),自動HMDS涂膠鍍膜機(jī)也稱為HMDS處理,是用于使晶片表面呈疏水性的處理。
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  • HMDS增粘裝置,涂敷HMDS增粘劑的裝置
    HMDS增粘裝置,涂敷HMDS增粘劑的裝置通過對箱體內(nèi)預(yù)處理過程的工作溫度、處理時間、處理時保持時間等參數(shù)的控制可以在硅片、基片表面均勻涂布一層HMDS,增加了HMDS處理后的硅片接觸角,降低了光刻膠的用量,提高光刻膠與硅片的黏附性。
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  • HMDS涂膠機(jī),智能型HMDS涂 膠機(jī)
    HMDS涂膠機(jī),智能型HMDS涂 膠機(jī)將HMDS涂到半導(dǎo)體制造中硅片、砷化鎵、鈮酸鋰、玻璃、藍(lán)寶石、晶圓等材料表面后,經(jīng)烘箱加溫可反應(yīng)生成以硅氧烷為主體的化合物。它成功地將硅片表面由親水變?yōu)槭杷涫杷珊芎玫嘏c光刻膠結(jié)合,起著偶聯(lián)劑的作用。
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  • 光刻工藝HMDS鍍膜機(jī),MOS器件HMDS鍍膜 機(jī)
    光刻工藝HMDS鍍膜機(jī),MOS器件HMDS鍍膜 機(jī)涂布工藝是改善晶圓表面接觸角的關(guān)鍵步驟。
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