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半導體烘烤設備

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2025-09-17

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2025-09-17

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2025-09-17

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真空無氧化烤箱（BCB厭氧固化烤烘箱）

真空無氧化烤箱（BCB厭氧固化烤烘箱）是將涂敷BCB或PI的襯底放入真空無氧烘箱中，通入N2→真空置換后，采用多級升溫保溫的方式，在規定的時間從室溫升至第一溫度階段，并在該溫度段保溫1-2h，再在規定的時間從第一溫度升至第二溫度階段，并在該溫度段保溫一定的時間；隨后增通過輔助的降溫系統（水冷和風冷），將退火爐的溫度降至80度左右，完成固化。

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2025-09-17

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