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  • 充氮烘箱，充氮潔凈烘箱 工業(yè)烘箱
    充氮烘箱，充氮潔凈烘箱適用于電子液晶顯示、LCD、CMOS、IC、PCB板、半導(dǎo)體封裝、醫(yī)藥、實驗室等生產(chǎn)及科研部門。
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  • 全氟辛基三氯硅烷涂膠機，抗粘劑PFTS烘箱
    全氟辛基三氯硅烷涂膠機，抗粘劑PFTS烘箱主要用于納米壓印光刻（NIL）應(yīng)用，防粘涂層的制備，可用于光刻工藝中HMDS增粘劑涂膠；以及功率半導(dǎo)體,LED,MEMS,半導(dǎo)體分立器件等硅烷沉積涂膠工藝。
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  • 冷熱沖擊測試機，冷熱循環(huán)氣流儀
    冷熱沖擊測試機，冷熱循環(huán)氣流儀在短的時間內(nèi)（約10秒）檢測樣品因高低溫冷熱沖擊（）-65℃～220℃）所引起的化學(xué)變化和物理傷害，減少測試與驗證時間，快速提高產(chǎn)品研發(fā)和生產(chǎn)效率。廣泛應(yīng)用于通信、半導(dǎo)體、芯片、傳感器等領(lǐng)域。
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  • 快速熱處理退火爐，半導(dǎo)體RTP快速退火 爐
    快速熱處理退火爐，半導(dǎo)體RTP快速退火 爐可用于硅及其他化合物材料離子注入后的退火，硅化物形成，歐姆接觸制備以及快速氧化，快速氮化等方面。該設(shè)備具有很好的長時間工作穩(wěn)定性以及快速升降溫，慢速升降溫功能
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  • 不銹鋼無塵烤箱，雙層無塵烘箱
    不銹鋼無塵烤箱，雙層無塵烘箱應(yīng)用于目前關(guān)鍵的半導(dǎo)體電子行業(yè)（如硅片干燥，堅膜烘烤，裝片機后道烘烤，塑封后烘烤，治具烘烤等），另外，雙層無塵烘箱還在LED制造行業(yè)中用于烘烤玻璃基板、無機材料行業(yè)中用于材料高精度工序。
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