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產(chǎn)品中心
P產(chǎn)品分類RODUCT CATEGORY
HMDS預(yù)處理系統(tǒng)通過對烘箱預(yù)處理過程的工作溫度、處理時間、處理時保持時間等參數(shù)可以在硅片、基片表面均勻涂布一層HMDS，降低了HMDS處理后的硅片接觸角，降低了光刻膠的用量，提高光刻膠與硅片的黏附性。
產(chǎn)品型號：JS-HMDS廠商性質(zhì)：生產(chǎn)廠家更新時間：2025-09-15訪 問 量：2809
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聯(lián)系電話：021-31434441
HMDS真空烘箱技術(shù)參數(shù)：
電源電壓：AC 220V±10%/50Hz±2%
輸入功率：2400W
控溫范圍：RT+10℃-250℃
溫度分辨率：0.1℃
溫度波動度：±0.5℃
達到真空度：133Pa
容積：90L
工作室尺寸（mm）：450*450*450
載物托架：2塊
時間單位：min
二、HMDS真空烘箱特點：
1、 采用醫(yī)用級不銹鋼316L材質(zhì)制造，內(nèi)膽為不銹鋼316L；加熱器均勻分布在內(nèi)膽
外壁四周，內(nèi)膽內(nèi)無任何電氣配件及易燃易爆裝置。鋼化、防彈雙層玻璃門觀
察工作室內(nèi)物體一目了然。
2、 箱門閉合松緊能調(diào)節(jié)，整體成型的硅橡膠門封圈，確保箱內(nèi)高真空度。
3、 微電腦智能控溫儀，具有設(shè)定，測定溫度雙數(shù)字顯示和PID自整定功能，控溫
精確，可靠。
4、 智能化觸摸屏控制系統(tǒng)配套進口PLC模塊可供用戶根據(jù)不同制程條件改變程序，
溫度，真空度及每一程序時間。
5、 HMDS氣體密閉式自動吸取添加設(shè)計，真空箱密封性能佳，確保HMDS氣體無外
漏顧慮。
6、 整個系統(tǒng)采用優(yōu)質(zhì)材料制造，無發(fā)塵材料，適用100 級光刻間凈化環(huán)境。
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